فصل اول: ساختار جامدات / 15
فصل دوم: رشد بلور و تهیه پولک/ 47
فصل سوم: اکسایش / 71
فصل چهارم: آلایش / 93
بخش اول: نفوذ /96
بخش دوم: کشت یون / 105
فصل پنجم: لیتوگرافی / 123
فصل ششم: زدایش / 143
فصل هفتم: فلز نگاری / 161
فصل هشتم: لایه گذاری / 171
فصل نهم: روشهای اندازهگیری پارامترهای فیزیکی / 185
منابع و مأخذ/ 211
دسته بندی موضوعی | موضوع فرعی |
فنی و مهندسی |
برق و الکترونیک
|